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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于扫描探针显微镜的探针和制造这种探针的方法

US10873064 2004-6-21 发明申请

2005-12-22

用于扫描探针显微镜的探针和制造这种探针的方法。每个探针包括一个探针尖端，该探针尖端具有通过各向异性蚀刻工艺形成的基本上垂直的侧壁和在探针尖端下面的扩口柱，该扩口柱通过非各向异性蚀刻工艺形成。使用包括含溴气体和含氧气体的源气体在批处理中蚀刻探针的探针尖端和扩口柱。探针尖端可以使用客户在原子力显微镜中使用的任何合适标准来合格，而无需单独检查。