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扫描电子显微镜及类似装置
US11106707 2005-4-15 发明申请
2005-12-22
本发明提供一种扫描电子显微镜,其能够高效率地检测从靶的整个表面产生的二次电子,在具有在样品附近具有延迟电场的物镜的扫描电子显微镜中,相对于电子光轴轴对称地配置至少2个检测器,在检测器附近配置使二次电子或反射电子与靶碰撞的靶,并且相对于电子光轴几乎轴对称地形成具有比靶的电位低的负电位的至少1个电极构件。
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