在潮湿环境中用于扫描电子显微镜的低压室
 
US10516407  2004-12-2  发明申请

2005-12-22
 
  一种用于电子显微镜中的样品封装组件(100),包括刚性样品封装盘(102),所述刚性样品封装盘(102)具有孔(122)并限定封闭的样品放置体积(125), 在电子束可透过时, 不透流体的盖子(114)将孔(122)处的试样放置容积(125)与外壳外部的容积密封,以及压力控制器,其与封闭的试样放置容积(125)连通并可操作以将封闭的试样放置容积(125)保持在压力下,该压力超过试样放置容积(125)中的液体试样(123)的蒸气压力并且大于外壳外部容积的压力,由此盖子(114)两端的压差不超过阈值水平,在该阈值水平处盖子(114)将发生破裂
 
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