| 原子力显微镜及其操作方法 |
| CN200410027779.2 2004-6-19 发明申请 |
| 2005-12-21 |
| 本发明涉及一种测量样品表面原子级轮廓形貌 的原子力显微镜及其操作方法。该原子力显微镜包括探针、电 子控制系统、计算器处理系统、光电检测系统及曲面校正系统， 各系统通过电路彼此相连，其中该曲面校正系统包括一激光光 源、一聚焦系统及一光分析仪，激光光源经聚焦系统聚焦，其 焦点跟踪原子力显微镜的探针针尖扫描待测样品表面，并被样 品表面反射，光分析仪吸收该反射光，测得样品表面扫描点处 的曲面角度，用以校正针尖与样品表面原子间作用力引起探针 微悬臂的形变量或位移量。该原子力显微镜适合检测高角度曲 面的样品。 |
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