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样品图像获取方法和扫描电子显微镜

JP2004165547 2004-6-3 发明申请

2005-12-15

要解决的问题 : 以缓和或稳定所述绝缘试样的观察期间形成的电荷通过使用SEM(扫描电子显微镜)。溶液 : 通过控制所述样品表面的电场强度和所述扫描方法的主电子束在图像采集，通过主电子束照射产生的电荷被缓和或稳定和动态产生的电荷的所述的效果通过主电子束照射被制成几乎不发生。