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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜的自动对准物镜孔径

US10864709 2004-6-9 发明申请

2005-12-15

一种用于CDSEM的自动对准物镜孔径组件，包括板，该板可相对于由SEM产生的电子束在X和Y方向上移动。所述板限定一个或多个物镜孔。提供了编码器和马达，用于影响板在X和Y方向上的运动。图像控制器，响应于由电子束聚焦的半导体晶片特征的图像，以影响板的运动的方式控制编码器和马达，以使物镜孔径与电子束自动对准。