| 用于多探针显微镜的照明系统 |
| WOGB22051465 2022-6-10 发明申请 |
| 2023-1-5 |
| 一种探针显微镜，包括具有探针阵列的探针阵列，每个探针包括悬臂和探针尖端。 照明系统包括多个光源。 每个光源被配置为输出相应的光束。 透镜阵列包括透镜阵列。 每个源透镜被定位成接收来自照明系统的光束中的相应光束。 收集器透镜被配置为收集来自透镜阵列的光束。 物镜被配置为接收来自收集器透镜的光束，并将每个光束聚焦到相应的一个探针的悬臂上。 所述照明系统被配置为调制所述光束的功率以致动所述探针，并且所述照明系统被配置为独立地调制一些或全部所述光束的功率。 |
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