| 自动聚焦装置和使用该相同的显微镜 |
| JP2004154680 2004-5-25 发明申请 |
| 2005-12-8 |
| 要解决的问题 : 以使它可能以检测所述的整个部分上的对比度的观察图像在一个高的速度和以进行自动聚焦控制在一高的速度稳定在一个自动聚焦装置和显微镜使用所述相同。溶液 : 通过一个偏振光束分束器2是分支光从一种观察光学系统101用于获得所述观测图像和此后所述光学路径是分支到两个由半反射镜3。轮廓提取的光学系统4a和4b，其轮廓图像中提取被设置在所述各自的光学路径。光检测光电检测器8的表面8a包括在所述各自的系统被设置在所述前侧的一个图像平面9所述轮廓中提取所述的背侧上的光学系统4a和所述图像平面9在B轮廓提取的光学系统4a和每个所述的亮度信息是通过一聚焦控制单元操作10。一个级驱动装置67是根据其上的控制。 |
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