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电扫描探针显微镜装置
US11121102 2005-5-4 发明申请
2005-12-8
一种电扫描探针显微镜(SPM)装置。 SPM装置配备有具有红外激光源的原子力显微镜,用于提供形貌图像的位置敏感光电检测器(PSPD),用于光学对准的电荷耦合器件(CCD)监视器,以及可操作地耦合到原子力显微镜以获取同步二维电图像的电扫描传感器。 因此,可以改善由杂散光和对SCM图像对比度的扰动引起的光扰动效应。
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