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一种装置，用于校准一显微镜，一种装置和一个校准的方法制备所述的方法一显微镜

WODK05000346 2005-5-25 发明申请

2005-12-8

一装置或制品用于校准所述高度\/深度或Z轴的一显微镜，例如一个共焦显微镜，一个干涉显微镜或扫描电子显微镜。所述制品包括一个锥形的数量或饼状，每个从一中心轴线延伸的平行表面，由此所有表面和所述显微镜的放大率的高度独立地是可见的。因此，所述全高度范围可以被标定该放大的和独立地检查所述线性度。