| 使用扫描探针显微镜测量方法 |
| JP2004148545 2004-5-19 发明申请 |
| 2005-12-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种使用一种扫描探针显微镜测量方法能够定量地掌握所述的不规则所述图案的形状或物理特性的一个二维平面上，该形状之间的关系和物理所述图案的特性，图案排列精度和所述分析的所述图案中该等具有feasures在其形状，物理特性或该等。溶液 : 一单元区，其中所述图案是所述的形成是检测从所述获取的图像扫描探针显微镜以计算该检测单元区域中的各种特性，和所述一个测量区中所述的各种特性的不规则性; 所述各自的特性之间的相关性，所述两维排列每个区在所述测量的精度区域和该等被所述图案显示，以容易地掌握所述的特性。 |
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