| 具原子力显微镜探针之结构 |
| TW093108074 2004-3-25 发明授权 |
| 2005-12-1 |
| 本发明系有关於一种「具原子力显微镜探针之结构」，尤指一种使用於原子力显微镜中之探针装设结构，其主要包含有探针基座、棵针模组、弹性体及顶杆其中该探针基座上设有承接部；该探针模组系包含有受接部、悬臂及探针，其中该探针系设置於悬臂上，且悬臂系设置於受接部上；该弹性体一侧系固设於探针基座上而另一侧则将探针模组紧密的夹设於探针基座之承接部上；该顶杆系设置於探针基座上，其一侧顶抵於弹性体，而另一侧则凸伸出探针基座；其中该顶杆可将弹性体顶开，以使被夹设於弹性体与探针基座之间的探针模组可达到方便更换之目的。 |
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