扫描探针显微镜装置和技术
 
US11084543  2005-3-18  发明申请

2005-12-1
 
  本发明提供了基于使用导电SPM尖端的阻抗谱测量的扫描探针技术,并将其应用于研究局部输运性质,特别是晶界处的局部输运性质。 基于等效电路的分析,可以区分晶粒边界和尖端-表面相互作用的贡献。 该技术既适用于多晶半导体传输机理的空间分辨研究,又适用于尖端-表面接触质量的研究。 压电响应力显微镜技术产生关于铁电体的局部非线性介电特性和高阶机电耦合的定量信息。
 
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