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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜和用于调节所述扫描电子显微镜的电子束焦点的方法

US11130121 2005-5-17 发明申请

2005-11-24

在扫描电子显微镜中，扫描区域被设置为窄的，在其上扫描聚焦电子束，使得不管载物台的移动或载物台在其制动期间的移动，聚焦电子束可以在几乎相同的位置被多次照射，并且在要扫描的区域上被多次照射聚焦电子束，同时改变聚焦位置，从而形成其图像。从所形成的图像中计算出一个区段，从该区段可以计算出聚焦位置，然后从该计算出的区段计算出聚焦位置。