| 用于扫描探针显微镜悬臂使用和制造方法及其 |
| KR1020040033969 2004-5-13 发明申请 |
| 2005-11-17 |
| 目的 : 一用于一种扫描探针显微镜的悬臂和一种制造方法，其被设置，以形成一均匀的图案即使当发生侵蚀在该悬臂通过使用圆柱形上部和下部用于所述悬臂的尖端。结构 : 一悬臂用于一个扫描探针显微镜包括一个悬臂(301)，一种压电致动器(310)，一感测单元(330)，一个感测信号传送单元(321)，和一探针单元(302)。所述悬臂的是由硅或一硅化合物，所述压电致动器被形成在所述悬臂和所述悬臂上提供一恢复力，所述感测该悬臂部分的感测运动。所述感测信号传送单元传送一个信号从所述感测单元。所述探针单元被集成与所述悬臂和包括一尖端，其上和下表面具有相同的尺寸。kipo2006 |
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