| 制造用于表征扫描探针显微镜探针的尖端形状的结构的方法和由此制造的结构 |
| US10844200 2004-5-12 发明申请 |
| 2005-11-17 |
| 一种用于确定用于原子力显微镜的探针尖端的形状的表征器以及制造和使用该表征器的方法。 所述表征器包括微机械加工的晶体结构，所述晶体结构具有相对边缘，所述相对边缘以适于表征所述探针尖端的尺寸的宽度隔开。 所述相对边缘中的至少一个以大于所述宽度的三分之一的悬垂距离悬垂所述微机械加工晶体结构的底切区域。 探针尖端横跨特征化器的边缘被扫描以用于形状确定。 所述特征是通过连续深反应离子刻蚀和各向异性刻蚀(100)单晶硅而形成的。 对置的边缘可以被氧化磨削以用于仿形探针尖端的底表面。 |
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