一种超快光电显微镜的方法及系统
 
US11097837  2005-4-1  发明申请

2005-11-17
 
  一种用于表征一个或多个样本的超快系统(和方法)。 所述系统包括台架组件,所述台架组件具有待表征的样品。 所述系统具有能够发射持续时间小于1ps的光脉冲的激光源。 所述系统具有耦合到所述激光源的阴极。 在特定实施例中,阴极能够发射持续时间小于1ps的电子脉冲。 所述系统具有电子透镜组件,所述电子透镜组件适于将所述电子脉冲聚焦到设置在所述平台上的所述样品上。 所述系统具有适于捕获通过样品的一个或多个电子的检测器。 穿过样品的一个或多个电子代表样品的结构。 所述检测器提供与通过所述样品的一个或多个电子相关联的信号(例如,数据信号),所述信号表示所述样品的结构。 所述系统具有耦合到所述检测器的处理器。 处理器适于处理与通过样品的一个或多个电子相关联的数据信号,以输出与样品的结构相关联的信息。 所述系统具有耦合到所述处理器的输出设备。 所述输出装置适于输出与所述样本的结构相关联的信息。
 
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