| 一种用于扫描电镜的低温原位加载台 |
| CN202210469191.0 2022-4-30 发明申请 |
| 2022-9-20 |
| 本发明涉及一种用于扫描电镜的低温原位加载台，包括基座，其上设置有低温装置和载荷伺服机构，其包括真空伺服电机、传动机构、两平行设置的丝杆、第一横梁和第二横梁，真空伺服电机与传动机构相连，两丝杆的一端固定在基座上，另一端则均与传动机构相连，丝杆包括螺纹方向相反的第一段和第二段，第一横梁分别与两丝杆的第一段螺纹连接，第二横梁分别与两丝杆的第二段螺纹连接；第一横梁和第二横梁上分别设置有第一夹具和第二夹具；低温装置位于第一横梁和第二横梁之间，第一夹具和第二夹具用于固定试样的两端。本发明的用于扫描电镜的低温原位加载台，将载荷伺服机构和低温装置整合在基座上，并进行微型化设计，使其方便地集成到扫描电镜中。 |
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