| 扫描探针显微镜 |
| JP2004121819 2004-4-16 发明申请 |
| 2005-11-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够自动地合理化的一种测量仪器中的各种参数对应到一悬臂和计划以提高，不仅所测量的效率工作，但还所述一个测量结果的稳定和可靠性。溶液 : 所述扫描探针显微镜是配备有一检测装置，配备有测量仪器，其被构成为 : 该悬臂2配备有一探针1被安装到一附着部4在一可拆卸的方式自由和所述探针是允许接近一样品以得到所述所述探针表面的数据，和构成以作为以改变所述悬臂对应到一测量条件，以检测所述一种或不规则的所述悬臂与相对于所述改变的悬臂，该参数的参数确定装置，用于确定该值设置到所述测量仪器所检测的基础上获得的数据通过所述检测装置和一个参数改变装置，用于改变所述测量仪器所述参数的设定值所确定的参数值的基础上。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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