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高纵横比尖端原子力显微镜悬臂及其制造方法

US10905045 2004-12-13 发明申请

2005-11-3

本发明提供了一种用于在常规悬臂的尖端顶端上选择性生长单个碳纳米管(CNT)的方法。选择性CNT生长是通过用催化剂材料涂覆悬臂的背面而建立的，悬臂在尖端顶点处具有通孔，随后涂覆覆盖层。悬臂顶端孔底部的暴露的催化剂在该位置诱导单个CNT的生长。