| 用于纳米级磁性和原子力显微镜的悬臂探针 |
| US11119859 2005-5-2 发明申请 |
| 2005-11-3 |
| 各个实施例公开了一种悬臂探针，其包括接合到衬底的第一电极和第二电极以及分支悬臂，其中所述悬臂包括纳米结构。 此外，所述探针包括与所述第一电极接合的所述悬臂的第一臂和与所述第二电极接合的所述悬臂的第二臂。 另外，悬臂探针包括耦合到悬臂的电路，其中该电路能够测量由施加到悬臂的原子力和/或磁力引起的悬臂压阻的变化。 另外，本发明还公开了一种进行原子力显微镜，磁力显微镜或磁共振力显微镜的方法。 所述纳米结构可以包括碳或非碳材料。 另外，纳米结构可以包括纳米管，纳米线，纳米纤维和各种其它类型的纳米结构。 |
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