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扫描探针显微镜和光刻装置

JP2004112169 2004-4-6 发明申请

2005-10-27

要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜可光刻的图像在高的速度和大吞吐量。溶液 : 所述扫描探针显微镜中，多个探针的每个具有多-探针头安装到一第一移动装置。该多个多-探针头被安装到一个第二的移动装置。一种装置用于保持一个待测样品具有一第三移动装置。版权 : (C)2006，膜℃。