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产业专利数据

扫描电子显微镜

US11103654 2005-4-12 发明申请

2005-10-27

当获得用于将从另一设备发送的样品上的异物的坐标值转换成SEM坐标值时，该SEM能够在没有进行充分校正的阶段防止异物的视场的偏移。 SEM坐标值。 SEM首先选择离样品中心较近的异物，然后从样品中心向外周螺旋状地选择异物。