| 扫描探针显微镜 |
| JP2004070076 2004-3-12 发明申请 |
| 2005-9-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜用于设定一个最佳的偏转量放大因子W用于每个单独的悬臂13。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括 : 一个用于检测所述偏转的偏转量检测部31所述的悬臂13用于输出作为一个偏转量信号S1; 一个偏转量信号放大部32用于放大所述偏转量信号S1由所述偏转量放大用于输出作为一个偏转量因子W放大信号S2; 一反馈信号生成部33用于产生一反馈信号S3，从所述偏转量放大信号S2; 一种测量范围设定部34用于设定一测量范围的放大因子H用于确定所述的测量范围所述的高度方向的一样品，放大所述反馈信号S3通过所述的测量范围的放大因子H，和输出一高度控制信号S4; 和一距离控制部分35用于控制所述样品之间的距离和该探针从所述高度控制信号S4。所述扫描探针显微镜给出了偏转到该悬臂13和调整所述偏转量放大因子W从所述偏转量放大信号S2输出在该时间。 |
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