| 长度测量的方法，使用扫描电子显微镜 |
| JP2004070901 2004-3-12 发明申请 |
| 2005-9-22 |
| 要解决的问题 : 以使用扫描电子显微镜提供一种长度测量方法能够高度准确的测量。溶液 : 一参考电场强度其中所述发射电子的量从样品和检测由一个电子当电子进入所述样品检测器与一个规定的入射电压示出了一个预先确定的峰值是，当所述强度所述的电子入射侧上的电场的所述电子检测器被改变。然后，同时改变所述电场的强度实际上，所述样品，其中一个图案，它是一种长度测量对象是与电子束照射形成的，和从所述样品所发射的电子的量是通过所述电子检测器检测(步骤S4)。一放大倍率校正系数被所述的基础上确定所述结果(步骤S6，S7～S9)。此后，长度在所有所述长度测量测量对象点是与所述的放大倍率校正系数执行(步骤S10)。 |
微信公众号