| 扫描隧道显微镜 |
| JP2003018407 2003-1-28 发明申请 |
| 2004-8-19 |
| 要解决的问题 : 检测一隧道电流和二次发射的电子从一个样品与一种简单配置在不使用任何二次电子探测器。溶液 : 一个偏置电源6用于给出一个用于放电的次级电子从样品3的偏置电压被连接到一非反相输入端子的运算放大器5的一前置放大器4，和因此该DC电位一探针1成为偏置电位的关注。当负偏置电压被施加到所述探头1通过所述偏置电源6和所述所述探头1和样品3之间的距离被降低，一种隧道电流流动到所述探头1，以及隧道电流在相反的方向和一个二次基于二次电子发射电子电流流动到该样品3。该电流是由各自的前置放大器4放大，8，一种隧道相对应的电压到所述隧道电流是输出从差分放大器7，和一个二次电子的电压输出对应的所述二次电子的电流是从所述差分放大器10。 |
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