原子间的跃迁能量分析扫描探针显微术和原子间的跃迁能量分析扫描探针显微镜
 
JP2003020979  2003-1-29  发明申请

2004-8-19
 
  要解决的问题 : 以提供一个原子间的跃迁能量分析的扫描探针显微镜能够执行元件的识别同时观察下一单个原子构成所述样品表面与所述的不规则形状的观察该样品的表面; 和一个原子间的跃迁能量分析扫描探针显微镜及其。溶液 : 该显微镜包括一个孔形成工艺用于形成所述原子空位所述内壳体上的电平构成该样品通过使所述探针尖端上表面到所述距离的几个-从所述样品表面tenths纳米和施加能量到所述探针尖端和所述样品表面,用于检测所述内壳和一检测过程一个原子构成的电平比所述形成所述探针尖端,其是浅的空位电平或原子间的跃迁能量当排出的一价的电子带中的电子被转变为所述空位。所述两个过程之间的至少一个过程和一个扫描过程用于扫描相对所述样品表面的相对以该探针被同时执行。
 
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