| 扫描探针显微镜 |
| JP2003023633 2003-1-31 发明申请 |
| 2004-8-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够perfcorming的所述反馈控制的一探针与更高的精度，即使如果所述样品的表面具有一个倾斜或噪声。溶液 : 所述倾斜该样品的部件10c是使用所述FFT操作的操作和FFT的IFFT操作\/IFFT2具有相对于所述Z-反馈信号从一个APM头10通过一信号发送放大器11由预扫描。该Z-反馈信号从所述的APM头10通过该信号发送放大器11通过该预扫描是输入以一个倾斜分量除去所述样品的算术部分4和所述倾斜分量是从所述Z-反馈去除信号。该反馈操作被执行一反馈运算部5中使用所述Z-反馈信号从其所述倾斜部件被除去以得到一种形状的部件。所述倾斜分量和所述形状的部件被加入以形成一个Z-扫描器驱动控制信号，它是，在又，输出到一个压电扫描器所述的Z-扫描器10b和所述形状的部件是成像到被显示在一监视器12。 |
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