| 扫描电子显微镜 |
| JP2004267842 2004-9-15 发明申请 |
| 2005-2-3 |
| 要解决的问题 : 以提供一种基于杆具有一种分辨率的SEM的等效到其上的一个TEM，能够空间的观察该样品的内部结构，具有所述的用户friendlyness所述SEM。溶液 : 该扫描电极由一个电子源1的显微镜，一个功率源加速所述的电子源1在一水平的200KeV。，一个用于轴的电子枪，偏转器的调整，一种电子光学装置会聚和扫描电子束和所述电子束照射一样品上，一个共用样品架，一物镜透镜与透镜结构中，和一个检测装置检测的二次带电粒子。在该扫描传输图像的观察，一种在一物镜观察部分是改进的对比度通过选择所述所述检测的散射角范围。一由一计算机自动计算出的图像参数可被用于结构分析和组合物的分析，和一个该样品可观察到的空间的内部结构在μm的顺序从一个二次电子图像和反射电子图像。 |
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