| 利用扫描探针显微镜测量样品的方法和装置 |
| US10490440 2004-9-22 发明申请 |
| 2005-2-3 |
| 本发明涉及一种利用扫描探针显微镜测量样品的方法和装置， 尤其是一种扫描力显微镜，其中探针(5)借助于横向和垂直移动单元(1)相对于样品(6)移动，以测量样品(6)； 借助于光源(20)产生测量光线(21)，并将其引导到设置在探头上的反射装置(91)； 在反射装置(91)处反射测量光线(21)，由此形成反射的测量光线(21a)； 反射的测量光线(21a)通过校正透镜(47)被引导到检测器装置(27)的检测器表面(32)以产生测量信号， 所述校正透镜(47)被定位在距所述检测器表面(32)基本上对应于所述校正透镜(47)的焦距的距离处。 |
微信公众号