| 全反射显微镜 |
| US18043476 2021-8-30 发明申请 |
| 2023-10-12 |
| 描述了与全反射显微镜相关的装置、系统和方法。 所述显微镜包括全反射离轴光学系统,并且其特征在于基本上为零色差、低群时延色散和没有中心模糊。 一种反射显微镜配置包括具有至少三个反射镜的反射物镜子部分,其中至少一个反射镜离轴且非球面。 反射式显微镜还包括反射式中继子部分,该反射式中继子部分具有至少两个具有自由曲面的小组,并且被定位成接收来自反射式物镜子部分的光。 反射中继子系统被配置成产生放大倍数,以允许在具有不同光束尺寸的两个平面之间耦合光。 所述反射式显微镜还包括成像子部分,所述成像子部分具有至少一个反射镜,所述至少一个反射镜具有自由曲面并且被定位成接收来自所述反射式中继子部分的光并且将在其上接收的光在反射中引导到传感器的方向上。 |