| 显微镜系统和方法用于观察对象 |
| JP2003133008 2003-5-12 发明申请 |
| 2004-11-25 |
| 要解决的问题 : 提供一种远紫外线显微镜，其增加所述的照明光的量可视场。溶液 : 具有一个宽的光谱分布的辐射光从氘灯101是由一棱镜104上入射。所述的光从棱镜104根据波长是在空间上分散。所述空间的一部分波长分散的光穿过一个视场光阑107的一狭缝和所述其它该光被屏蔽的部分。一个相移掩模109上的一个级111被照射与所述的光穿过该狭缝所述视场光阑107。所述光发射通过所述相移掩模109是由入射在物镜112。所述光发散由所述物镜透镜112被制成一管上的入射透镜113和成像一个成像装置114上。所述成像装置的所述光接收表面114被设置成倾斜到所述光学轴线，从而以用于所述的偏差补偿所述聚焦由于色像差。 |
微信公众号