| 方法和装置,用于所述非接触式激励的扭簧上的悬臂中振荡,固定在一个侧,的一种原子力显微镜 |
| WOEP04004876 2004-5-7 发明申请 |
| 2004-11-25 |
| 本发明涉及一种方法用于激发自由振荡的扭簧上的悬臂中,其被固定在一个侧并具有一纵向延伸,一种原子力显微镜(AFM)的。本发明的特征在于,在使所述的弹性悬臂,固定在一个侧,上方是放置一表面在从该后者的距离,一个声耦合介质被位于所述表面和所述的弹性悬臂之间,使所述表面进行到横向振荡,其在一线性方式沿一个振荡方向被极化,使所述通过所限定的偏振轴的振荡运行方向垂直于所述的纵向延伸的所述的弹性悬臂。 |