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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

原子力显微镜(AFM)悬臂校准

GB0319460 2003-8-19 发明申请

2004-11-24

一微加工的电容原子力显微镜(AFM)悬臂校准装置具有一个平台，用于着陆所述AFM悬臂尖端和一个或多个支撑腿，以提供簧下电阻到所述平台。一种电容式传感器测量所述的组合与所述一个或多个支撑腿的弹簧常数相对于位移垂直于所述平台表面。一个弹簧常数确定所述的方法的一种结构(如所述校准装置)所述的着陆台还公开了，沿与AFM悬臂具有一电容传感器以确定所述悬臂的所述的弹簧常数。