| 扫描电子显微镜 |
| US10817834 2004-4-6 发明申请 |
| 2004-9-30 |
| 本发明的目的是防止由于初级电子束偏离扫描电子显微镜的光轴而导致的离轴像差增加而导致的分辨率下降。 本发明提供了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜具有图像移位偏转器系统，该图像移位偏转器系统包括两个分别设置在上和下阶段的偏转器。 位于下部的偏转器为多极静电偏转电极，并设置在物镜中。 即使图像偏移的距离大，也能够形成高分辨率的图像，并且能够以高精度测量尺寸。 当应用于半导体器件制造工艺中的检查时，该SEM能够以高吞吐量实现精确检查，该半导体器件制造工艺处理具有大面积并且具有非常细微的电路元件的晶片。 |
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