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电子显微镜
US10807116 2004-3-24 发明申请
2004-9-30
一种扫描透射电子显微镜,具有电子束能量分析器(能量滤波器)以观察电子束能量损失谱和元素分布图像。 所述电子显微镜还包括 : 偏转线圈,设置在磁性棱镜的上游侧,以校正垂直于光轴的平面内的电子束路径,并使电子束入射到能量滤波器;偏转线圈,用于校正由磁性棱镜形成的能量色散表面的能量轴方向上的电子束路径;以及控制单元,用于控制偏转线圈的激励条件。
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