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混合扫描电子显微镜和基于声光的计量

US17714908 2022-4-6 发明申请

2023-10-12

本文公开了一种用于基于非破坏性混合声光和扫描电子显微镜的计量的方法。该方法包括：(i)获得样品上被检查结构的声光和扫描电子显微镜测量数据; (ii)处理测量数据以提取分别对应于声光测量数据和扫描电子显微镜测量数据的关键测量参数值; 以及(iii)通过将提取值输入到算法中来获得检查结构的一个或多个结构参数的估计值，该算法被配置为联合处理提取值以输出一个或多个结构参数的估计值。