| 图像补偿装置用于一种扫描电子显微镜 |
| EP03368068 2003-7-7 发明申请 |
| 2004-2-4 |
| 一种装置，用于防止失真到临界尺寸形成线图像通过SEM(40)外部的影响下通过电-磁产生的排放相邻的制造设备。所述外部发射引起高的三个∑\/C分量。所述校正装置包括一个外部屏蔽线圈(42)安装到所述列壳体(41)的所述SEM。控制电发射驱动器(30)被安装到所述外部屏蔽线圈在其一个可变电压分配器具有一个变压器与一可变电阻。所述可变电阻器调整改变所述一个\/C的所述正弦波的幅值信号从而控制所述电-发射驱动器而减少所述三个∑\/C分量的所述效果。 |
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