| 扫描探针显微镜与集成校准 |
| WOSG05000119 2005-4-9 发明申请 |
| 2005-10-20 |
| 一个扫描探针显微镜系统被描述。该系统具有一个扫描探针显微镜组件，包括一悬臂探针(90)，用于扫描一个样品(64)，一个样品安装基座(62)和一个校准系统(20，40，92，102，104，106)。一平台(70)支持该样品安装基座(60)和所述校准系统(20，40，92，102，104，106)。所述平台(60)是两个位置之间移动，以使该样品安装基座(60)和所述校准系统(20，40，92，102，104，106)为一各自的操作位置与相对于该探头(90)。该校准系统具有装置(40)计算弯曲刚度和所述的装置(20)以计算扭转刚度探头(90)。所述的显微镜装置具有装置(84，88，92)，以补偿所述探针的测量信号用于弯曲效果(90)。 |
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