| 方法和系统用于超快速光电子显微镜 |
| WOUS05011018 2005-4-1 发明申请 |
| 2005-10-20 |
| 一种超快系统(和方法)用于表征一个或多个样本。该系统包括一个工作台组件，其具有一个样品待特征。该系统具有一个激光源，其是可小于1的发射光脉冲的PS在持续时间。该系统具有一阴极连接到所述激光源。在一个特定实施例中，该阴极是能够发射电子的脉冲持续时间小于1中的PS。该系统具有一个电子透镜组件适于聚焦所述电子脉冲到该样品设置在所述级。该系统具有一个检测器适于捕获一个或更多的电子穿过该样品。所述一个或多个所述结构的电子穿过该样品是代表性的样品。所述检测器提供一个信号(E。G。，数据信号)相关联的与所述一个或更多的电子穿过该样品，其表示所述结构的所述样品。该系统具有一个处理器耦合到所述检测器。所述处理器相关联的是适于处理所述数据信号与所述一个或更多的电子穿过所述样品以输出信息相关联的所述样品与所述的结构。该系统具有一输出装置耦合到所述处理器。所述输出装置是适合于以输出该信息相关联的所述样品与所述的结构。 |
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