| 电子束干扰装置和电子显微镜 |
| WOJP05003865 2005-3-7 发明申请 |
| 2005-10-20 |
| 一程度的自由度是赋予所述样品图像和所述的图像的相对倍率一灯丝电极的电子束的电子束中的双棱镜的干扰光学系统采用干涉仪和所述电子束双棱镜能够控制所述重要的参数由所述干涉仪获得的所述干扰显微镜的图像，I。e。所述干扰条纹间隔S和所述干扰区域的宽度W，独立的每个其它。用于该程度的自由度，一种光学系统使用两个电子束所述的双棱镜设置在所述方向光学轴线是一两个级中使用电子束双棱镜干涉仪。此外，两个级装置，其中的两个物镜(51，52)被组合使用的是，所述的焦距所述物镜的透镜被独立地控制每个其它使得所述相对所述样品图像的放大率和所述图像灯丝电极的所述电子束的双棱镜可以任意设定。 |
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