| 显微镜系统能够同时观察多个对准标记的 |
| KR1020040025364 2004-4-13 发明申请 |
| 2005-10-18 |
| 目的 : 一种显微系统被提供到通过检查提高工作效率和以降低制造成本和对准第一一掩模的对准标记和真实时间中的一晶片第二的对准标记，而不用附加的光源。结构 : 微观上和下单元(110)是相反的每个其他。所述上的微观单元是垂直连接到一个第一上的图像导向单元(120)。第一上的图像导向单元包括一个第一的反射部分(150)用于反射一个第一上的显微放大图像单元及一第四反射和光传输部(170)。所述下显微单元是垂直连接到一第一下的图像导向单元(120‘)。第一下的图像导向单元包括一个第二的反射部分(150‘)用于反射一第二放大下的显微图像单元及一个第三的反射部分(160)用于反射该反射图像第二的反射部，以第四反射和光传输部分。一种第二的图像导向单元(130)是垂直连接到第一的上和下图像引导单元。一种图像处理单元(140)是用于执行一种图像处理的图像第四上反射和光传输部分。一种显示单元(180)是连接与所述的图像处理单元，以便显示图像中所述图像处理单元在真实时间。kipo2006 |
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