| 反射型的近场光检测光学系统和反射型的近场光学显微镜 |
| JP2004093463 2004-3-26 发明申请 |
| 2005-10-13 |
| 要解决的问题 : 提供一种反射型的近场光检测光学系统和一反射型的近场光学显微镜能够具有高灵敏度检测的一种精细反射的光强度变化，偏振，一相或等通过一个观察对象引起的，同时保持高分辨率和增加灵敏度。溶液 : 该显微镜配备有这种反射型的近场光检测光学系统80包括一激光光源30，用于发光测量激光的光Lin; 一个光学孔径用于产生近场光探头20并允许所述的光进入所述表面的一个观察对象90，引导从一光学孔径22反射的光从该观察对象lr290，和发光通过一后端侧开口21检测所反射的光的光lrout包括一个干扰分量lr2从所述观察对象90引导从所述的光学孔径22; 一种固体振动器60用于周期性地改变所述相对所述的光学孔径的探针20所述尖端之间的距离和该观察对象90; 和一锁定放大器50中用于检测所述干扰分量的每个包含在所述检测光反射膜lrout同步与一个所述尖端之间的相对距离的改变周期的所述的光学孔径探针20和所述给定的观察对象90从所述固体振子60。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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