| 扫描探针显微镜 |
| JP2004094100 2004-3-29 发明申请 |
| 2005-10-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够进行测量的一种特殊的气体环境下不所述扫描探针显微镜施加所述的构成部件的损伤。溶液 : 所述扫描探针显微镜是配备有一悬臂具有一微小的探头其提供给所述引出端; 该位移检测装置，用于检测所述位移的所述悬臂，该真空罐第一室具有一个样品移动装置用于移动一个样品和通过设置在至少所述悬臂构成，所述样品和所述样品移动装置在一真空罐和具有该悬臂和所述样品安装在其中和一分离该真空罐在一真空罐第二室具有所述样品移动装置设置在其中。一种特殊的气体是只引入到所述真空第一室。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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