| 扫描探针显微镜和方法用于测量泄漏的物理量 |
| JP2004102136 2004-3-31 发明申请 |
| 2005-10-13 |
| 要解决的问题 : 以精确地测量该样品的表面形状，具有一个大的垂直结构方面比和该表面附近的物理量。溶液 : 在所述行程的一探针在XY方向是被停止，所述探针是在一规定的振动频率和所述样品是带来更靠近所述的表面。当所述输出的一锁定放大器40中达到一规定值，一个样品表面的位置被检测到。然后，所述探针是通过一个规定的移动距离，在一个方向从所述样品表面后退的和被所述物理移动到所述的测量位置量，所述输出的所述锁定放大器40中被获得，和一个希望的物理量是获得。在这种情况下，所述样品表面与一个小力可以被检测到的位置，使得所述探针是未偏转或不滑动。因此，该测量所述表面位置是小的误差。所述物理量是基于在一个位置测量所述表面上的位置，使得该误差是小。所述探头接近样品，同时它不会在XY方向行进，因此到达一底部具有一大的纵横比。版权 : (C)2006，膜℃。 |
微信公众号