| 扫描探针显微镜和方法用于测量样品表面形状 |
| JP2004102150 2004-3-31 发明申请 |
| 2005-10-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其可以容易地扫描一个探针在XY方向，可以执行控制，用于使所述探针更接近到一样品表面，和能够测量该底切的结构部分的一个样品。溶液 : 一种装置，用于倾斜该移动轴线的所述探针用于使所述探针更接近于所述样品表面是由XY扫描的本体22和一Z扫描支撑件23。然后，该XY扫描所述的下表面部体22被形成为一圆弧形状弯曲的内侧; 所述Z扫描所述的上表面支撑23被形成为一圆弧形状的滑动沿所述下表面该XY扫描的体部22，和所述Z扫描支撑件23被可滑动地沿所述下表面悬挂该XY扫描的体部22。一悬臂13被设置成使得所述的所述探针尖端12，其尖端被固定，是位于在所述形成一个圆的中心通过所述电弧在该XY扫描所述的下表面部体22，所形成的角度由该悬臂13和一个表面在平行的方向与所述样品表面被保持到被所述相同，该悬臂13和所述的方向可以反转。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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