| 等离子体发生器和低真空扫描电子显微镜 |
| JP2004096352 2004-3-29 发明申请 |
| 2005-10-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一等离子体发生器和一低真空扫描电子显微镜，它是紧凑的，很少可能影响通过由光噪声和不影响由于等离子体生成一个图像检测系统上。溶液 : 所述等离子体发生器具有一圆柱形形状并包括一石英管60在其一个气体用于电离通过，一个高频线圈63缠绕在所述石英管60的所述端，一模具65，其覆盖围绕所述石英管60和所述的高频线圈63，一种金属66，它覆盖整个炬和上，以围绕所述等离子体出口孔径，和一种抗反射膜67中所述金属部分66内制备所述缸。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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