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包括Z轴载物台和用于Z轴载物台直线平移的压电致动器的光学显微镜的载物台组件和方法

US10823349 2004-4-12 发明申请

2005-10-13

一种可安装在光学显微镜上用于将样品定向到所需焦点位置的载物台组件，包括可操作用于在X轴方向上直线移动的X轴板和安装在X轴板上可操作用于在Y轴方向上直线移动的Y轴板。 Z轴板安装在XY板组件上，用于承载待研究样品，压电致动器机构插入在XY板组件和Z轴板之间，可操作用于Z轴板的直线平移。