| 扫描显微镜和方法用于通过使用扫描显微镜检查样品 |
| WOEP05050110 2005-1-12 发明申请 |
| 2005-10-13 |
| 本发明涉及一种扫描显微镜(1)包括 : 一光源(5)用于产生一个照明光束(7); 至少一个物镜(19)使照明光束聚焦到和\/或成一个样品(21); 一束偏转装置(11)，它将所述所述的照明光束的聚焦和\/或通过所述样品上; 和; 一检测装置(29)，其接收检测从所述样品发出的光。该扫描显微镜，其特征是 : 一个装置中用于产生一个操纵照明图案(37)被提供和使投影装置的项目所述操作上的照明图案和\/或为该样品。 |
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