| 用于一个扫描探针显微镜探针和用于制造方法相同 |
| WOKR04000741 2004-3-31 发明申请 |
| 2005-10-13 |
| 一种用于制造一种用于一种扫描探针显微镜探针的方法，其中所述探头包括一安装块，一悬臂和一尖端，包括所述的步骤 : 形成一第一掩模以限定一图案用于所述尖端和一第二掩模以限定一用于所述悬臂在一SOI晶片图案具有一个手柄层含有{100}单结晶硅，一绝缘层和一装置层含有{111}单结晶硅; 通过使用第一和第二掩模蚀刻该装置层; 该装置层上形成一个侧壁钝化层; 通过使用第一掩模蚀刻该装置层以形成所述尖端; 蚀刻所述手柄通过使用一第三掩模以限定一图案层用于所述安装块。通过使用所述的方法，一种{111}的单结晶硅制成的探针可以与高成品率制造。 |
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